Китайская Prinano выпустила первый наноимпринтный литограф для чипов

17.08.2025 12:41

Фото: © Prinano

Китайская компания Prinano (PuLin Technology) сделала значимый шаг в развитии полупроводниковых технологий: она поставила первый собственный наноимпринтный литограф PL-SR отечественному производителю. Это оборудование предназначено для реального выпуска чипов и делает Prinano второй компанией в мире после Canon, чья система уже установлена у клиента, сообщает El.kz со ссылкой на Notebookcheck.

Новый литограф способен формировать линии шириной менее 10 нанометров, тогда как модель Canon FPA-1200NZ2C ограничивается 14 нм. Теоретически PL-SR позволяет производить чипы уровня 5 нм, однако в документации подчеркивается, что это не означает возможности массового выпуска передовой логики по соответствующему техпроцессу.

Главное преимущество нанопечатной литографии в том, что она не требует использования источников экстремального ультрафиолета (EUV), применяемых в традиционных системах. Это снижает энергозатраты и стоимость оборудования. Но есть и компромиссы: процесс медленнее, менее гибкий и слабо подходит для сложных логических схем. Зато он эффективен для производства памяти, в частности флэш-чипов.

Принцип работы PL-SR основан на прижатии кварцевой формы с выгравированными схемами к слою резиста, нанесенному струйным методом. Система контролирует объем капель в реальном времени, обеспечивая толщину остаточного слоя менее 10 нм при отклонении менее 2 нм. Оборудование рассчитано на обработку 300-мм пластин.

El.kz также ранее сообщал о том, что Трамп установил тарифы до 300% на импорт чипов.